검색결과 : 6건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
폴리머 마이크로렌즈 제작 류근걸, 김영근, 전광석 Clean Technology, 11(4), 205, 2005 |
| 2 |
pH 변화에 따른 전리수 분석에 관한 연구 김백마, 김민정, 김우혁, 김봉석, 류근걸 Clean Technology, 10(1), 47, 2004 |
| 3 |
PCR 장치를 위한 플라즈마 식각에 관한 연구 김진현, 류근걸, 이종권, 이윤배, 이미영 Clean Technology, 9(3), 101, 2003 |
| 4 |
전리수를 이용한 실리콘 웨이퍼 세정 윤효섭, 류근걸 Korean Journal of Materials Research, 11(4), 251, 2001 |
| 5 |
환경친화적인 실리콘 웨이퍼 세정 연구 윤효섭, 류근걸 Clean Technology, 6(1), 79, 2000 |
| 6 |
대면적화된 마이크로파 플라즈마를 이용하여 실리콘 웨이퍼에 증착한 다결정 실리콘의 특성 연구 류근걸 Korean Journal of Materials Research, 9(6), 604, 1999 |