| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.1677 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 커스프 자기장 초클랄스키 공정에서 전류 루프들의 모양과 결정에 대한 유동장의 열적 영향과의 관계 연구 |
| 초록 | 본 연구는 커스프 자기장 초클랄스키 공정에서 전류 루프들의 모양을 변화시키면서 공 정을 모사하였다. 그리고, 모사 결과와 열적 풀링 속도라는 새로운 개념의 변수도입을 토대로 루프의 모양과 실리콘 단결정에 대한 유동장의 열적 영향과의 관계를 고찰하였다. |
| 저자 | 김종선, 이태용 |
| 소속 | 한국과학기술원 화학공학과 |
| 키워드 | Czochralski; cusp magnetic field; melt-thermal effect; configurations of counter-current loops |
| 원문파일 | 초록 보기 |
