| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교) |
| 권호 | 11권 2호 |
| 발표분야 | 나노 및 생체재료 |
| 제목 | 금속촉매와 기상화학증착법을 이용한 SiCN 나노와이어의 성장 |
| 초록 | 다양한 나노와이어가 여러 방법으로 성장되면서 새로운 형상을 가진 나노와이어들이 발견되고 있다. 실리콘과 산화아연등의 물질에서는 리본, octopus, 나노플라워, 나노스프링등의 여러가지 형상들이 발견되고 있으며, 그 성장기구가 연구되고 있다. 그러나 아직 일부 형상 (리본, 와이어)이외에 양한 형상을 가진 나노와이어의 성장기구가 아직 명확히 밝혀지지 않고 있어 이에대한 지속적인 연구가 필요하다. 본 연구에서는 단일전구체인 HMDSN을 사용하여 SiCN나노와이어를 성장시켰으며, 그 과정에서 다양한 형상의 나노와이어가 관찰되었다. 이러한 나노와이어의 형상은 성장과정 중에 발생하는 여러가지 현상들을 보여주는 형상학적 증거이며, 이를 통하여 나노와이어의 성장기구를 조사할 수 있고, 우리가 원하는 형상으로 나노와이어를 성장시키는데 큰 도움을 줄것으로 여겨진다. 본 연구에서는 이러한 다양한 형상을 가진 나노와이어의 형상의 성장과정을 수식적으로 연구하고, 이러한 성장을 일으키는 원인들을 연구하였으다. Acknowledgements : This research was supported by a grant(code # : 05K1510-02420) from 'Center of Nanostructured Materials Technology' under '21st Century R&D Programs' of the Ministry of Science anf Technology, Korea |
| 저자 | 노대호1, 김재수1, 변동진2, 이재훈3, 김나리2, 안명원4, 양재웅4 |
| 소속 | 1한국과학기술(연), 2고려대, 3한국생산기술(연), 4대진대 |
| 키워드 | SiCN; 나노와이어; CVD; 금속촉매 |
