| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 봄 (04/26 ~ 04/27, 강원대학교) |
| 권호 | 8권 1호, p.2101 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 반응성 스퍼터링에 의한 TiAlN 박막의 증착 |
| 초록 | 본 연구에서는 발열체로서 높은 thermal diffusivity를 갖는 TiAlN 박막에 대하여 주요 변수인 N2 flow rate과 dc power를 변화시켜 증착된 박막의 electrical resistivity(ρ)값의 변화를 조사하였다. |
| 저자 | 송영수, 변요한, 김혜인, 윤진구, 정지원 |
| 소속 | 인하대 |
| 키워드 | TiAlN; deposition; reactive sputtering |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
