| 번호 | 제목 |
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DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 Ge2Sb2Te5 박막의 증착|Deposition of Ge2Sb2Te5 thin films by DC magnetron sputtering 송영수,변요한,김혜인,정지원|Young Soo Song,Yo Han Byun,Hye In Kim,Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
| 4 |
고밀도 플라즈마를 사용한 polysilicon 박막의 nanometer 크기의 패터닝|Nanometer-sized patterning of polysilicon thin films using a high density plasma 변요한,김혜인,송영수,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Young Soo Song,Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
| 3 |
반응성 스퍼터링에 의한 TiAlN 박막의 증착|TiAlN thin film deposition by reactive sputtering 송영수, 변요한, 김혜인, 윤진구, 정지원|Young Soo Song, Yo Han Byun, Hye In Kim, Jin Koo Yoon, Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
| 2 |
Cl2/Ar과 C2F6/Ar 가스를 사용한 Polysilicon 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Polysilicon Thin Film in Cl2/Ar and C2F6/Ar Gases 변요한, 김혜인, 정지원|Yo Han Byun, Hye In Kim, Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
| 1 |
NiFe, CoFe 박막의 습식 식각 특성|Wet etch characteristics of NiFe,CoFe thin films 변요한,김혜인,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Chee Won Chung 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
