| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) |
| 권호 | 5권 2호, p.4065 |
| 발표분야 | 이동현상 |
| 제목 | 커스프 자기장 초클랄스키 공정에서 조업 변수와 실리콘 단결정에 대한 유동장의 열적 영향과의 관계 연구 |
| 초록 | 본 연구는 초클랄스키 공정에서 용융액의 거동에 영향을 주는 조업 변수로서, 도가니의 회전 속도, 단결정의 회전 속도, 자기장의 강도를 채택하였다. 그리고, 이들 조업 변수들의 변화에 대한 액상의 거동과 열장을 수치적으로 얻었다. 수치적 결과를 근거로 고체로 향하는 열 에너지의 양을 계산하여, 조업변수의 중요성을 고찰하였다. |
| 저자 | 김종선, 이태용 |
| 소속 | 한국과학기술원 화학공학과 |
| 키워드 | Czochralski; cusp magnetic field; operating parameters; melt-thermal effect; silicon crystal |
| 원문파일 | 초록 보기 |
