| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2012년 가을 (10/24 ~ 10/26, 부산 BEXCO) |
| 권호 | 18권 2호, p.2682 |
| 발표분야 | 환경 |
| 제목 | 저농도CF4/N2 혼합가스로부터 PDMS/PSf 복합중공사막을 이용하여 CF4 분리 및 회수특성 연구 |
| 초록 | 온실가스 중의 하나인 PFCs는 산업적으로 널리 사용되고 있다. 주로 에칭가스나 알루미나 생산 공정등으로 사용된다. PFCs중에 가장 많이 사용되는 CF4는 GWP가 약 7300으로 기후 변화에 대한 국제협약기구에서 감축의무가스로 지정되었다. 배출되는 CF4가스를 감소시키는 방법 중의 하나는 혼합되어 배출되는 저농도의 CF4혼합가스로부터 CF4 가스만 선택적으로 분리 및 회수하여 재 이용하거나 분해하는 방법이 있다. 혼합가스로부터 가스를 분리 및 회수하는 방법으로는 흡착법, 막 분리법, 심냉증류법, 액화법등이 있다. CF4와 N2의 kinetic diameter는 각각 4.7A, 3.6A으로 분리 막을 이용하여 저 에너지로 효율적으로 분리 및 회수가 가능하다. 본 연구에서는 산업공정에서 발생되는 저농도의 CF4/N2 혼합가스로부터 분리 및 회수하기 위한 기초적인 연구로써 PDMS/PSf 막을 이용하여 압력 및 stage cut 그리고 공급되는 혼합가스의 농도등의 다양한 변수로 투과거동을 살펴보았다 |
| 저자 | 박아름이1, 박유인1, 박호범2, 남승은1 |
| 소속 | 1한국화학(연), 2한양대 |
| 키워드 | CF4; PFCs; PDMS/PSf |
| 원문파일 | 초록 보기 |
