| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 71 |
Angular dependence of etch rates in fluoro-ether/O2/Ar plasmas 유상현, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 70 |
Etching characteristics of fluoroether/fluoroalcohol/Ar plasmas 유상현, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 69 |
A Study of Electrochemical Epoxidation 진경석 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
| 68 |
반도체 공정 내 질소산화물 제거를 위한 10 CMM급 고속 오존 산화 및 중화반응 장치 설계 및 실증연구 홍기훈, 황상연, 엄성현 한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
| 67 |
오존 산화 기반 반도체 공정 내 질소산화물 제거를 위한 고속산화 장치 설계 및 실증연구 홍기훈, 황상연, 엄성현 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
| 66 |
HUMAN AND ENVIRONMENTAL RISK INFORMATION FOR PERFLUORINATED COMPOUNDS (PFCs) 안희경 한국공업화학회 2020년 봄 학술대회 |
| 65 |
TECHNOLOGY TO REDUCE ENVIRONMENTAL EFFECTS OF PERFLUORINATED COMPOUNDS (PFCs) 안희경, 정대웅 한국공업화학회 2020년 봄 학술대회 |
| 64 |
아크 플라즈마 토치를 이용한 난분해성 PFCs 가스 분해 특성 황상연, 엄성현, 이동헌, 차우병 한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
| 63 |
GWP가 낮은 C3F6O/Ar 가스를 이용한 친환경 SiO2 식각 연구 김수강, 양경채, 신예지, 성다인, 탁현우, 염근영 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
| 62 |
반도체 공정폐가스 고효율 처리를 위한 열플라즈마-습식 전기집진 융합 시스템 연구 엄성현, 차우병 한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
