| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1996년 가을 (10/18 ~ 10/19, 경북대학교) |
| 권호 | 2권 2호, p.2607 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Watkins Johnson System에서 TEOS/오존에 의한 SiO2 화학증착 |
| 초록 | Watkins Johnson System에서 TEOS/오존을 이용한 SiO2막의 화학증착이 운전조건에 의해 받는 영향을 조사 |
| 저자 | 권순현, 선우웅, 김의정 |
| 소속 | 울산대 |
| 키워드 | CVD; Thin Films; SiO2 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
