| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Watkins Johnson System에서 TEOS/오존에 의한 SiO2 화학증착|SiO2 CVD by TEOS/ozone in the Watkins Johnson System 권순현, 선우웅, 김의정|Soon-Hyun Kwon, Woong Sunwoo, Eui Jung Kim 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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Watkins Johnson System에서 TEOS/오존에 의한 SiO2 화학증착|SiO2 CVD by TEOS/ozone in the Watkins Johnson System 권순현, 선우웅, 김의정|Soon-Hyun Kwon, Woong Sunwoo, Eui Jung Kim 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |