| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2019년 가을 (10/30 ~ 11/01, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 |
23권 2호 |
| 발표분야 |
포스터_디스플레이 |
| 제목 |
고온의 진공상태에서 열화한 반도체 소재 TTIP(Tetraisopropyl orthotitanate) 전구체의 열물성 및 ALD를 사용한 박막의 특성평가 |
| 초록 |
본 연구에서는 대표적인 고유전체 박막 TiO2의 전구체 TTIP의 장시간 열안정성을 평가하기 위해 120~180℃의 조건에서 7일간 열화하여 증기압과 TGA 측정을 통해 열물성 변화를 확인하고자 한다. 또한, 원자층 증착법의 장비를 사용해 증착한 유전체 박막의 증착률 및 균일도, 형태 등의 박막특성 변화를 확인하고, 이를 비교하여 고유전체 박막 TiO2의 열화 전후의 특성을 평가하여, TTIP 열화에 의한 열물성 변화와 원자층 증착에서의 열화온도에 따른 조건최적화 및 소자 특성을 확인하고자 한다. |
| 저자 |
안지혁1, 신재수2, 안종기1, 강고루1, 심섭1, 김하영1, 최은미1, 정낙관1, 김진태1, 윤주영1
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| 소속 |
1한국표준과학(연), 2대전대 |
| 키워드 |
증착소재; 장기간 열안정성; 유기금속 전구체; 소자 특성 변화
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