검색결과 : 1건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
직접접합 실리콘/실리콘질화막//실리콘산화막/실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드 결함 제거 정영순, 송오성, 김득중, 주영철 Korean Journal of Materials Research, 14(5), 315, 2004 |
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직접접합 실리콘/실리콘질화막//실리콘산화막/실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드 결함 제거 정영순, 송오성, 김득중, 주영철 Korean Journal of Materials Research, 14(5), 315, 2004 |