검색결과 : 1건
| No. | Article |
|---|---|
| 1 |
BCl 3 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각 조관식, 임완태, 백인규, 이제원, 전민현 Korean Journal of Materials Research, 13(12), 775, 2003 |
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BCl 3 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각 조관식, 임완태, 백인규, 이제원, 전민현 Korean Journal of Materials Research, 13(12), 775, 2003 |