검색결과 : 2건
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Cosputtering법으로 증착한 ZnO박막의 Al도핑농도가 미세구조 및 물리적 특성에 끼치는 효과 임근빈, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 15(9), 604, 2005 |
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마그네트런 스퍼터링법으로 증착한 투명전극용 Al도핑된 ZnO의 공정 분위기에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성비교 임근빈, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 15(8), 518, 2005 |