화학공학소재연구정보센터
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No. Article
1 Si Nanodot 배열의 형성을 위한 NbOx 나노기둥 마스크의 식각 특성
박익현, 이장우, 정지원
Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry, 17(3), 327, 2006
2 알루미나의 세공을 이용한 자기 조립된 금속 산화물의 nanopillar 형성
박익현, 이중, 신별, 정지원
Applied Chemistry, 9(1), 25, 2005
3 차세대 자성 메모리에의 응용을 위한 나노미터 크기의 magnetic tunnel junction 패터닝
신별, 박익현, 정지원
Applied Chemistry, 9(1), 85, 2005
4 Metal-insulator-transition 특성을 나타내는 VO2 박막의 형성
이장우, 박익현, 정지원
Applied Chemistry, 9(1), 89, 2005
5 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 IrRu 박막의 식각 특성
이장우, 박익현, 정지원
Applied Chemistry, 9(2), 121, 2005
6 SiNx 박막을 이용한 Si Nanodot의 형성
이장우, 박익현, 신별, 정지원
Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry, 16(6), 768, 2005
7 자성 메모리의 적용을 위한 나노미터 크기로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction의 식각 특성
박익현, 이장우, 정지원
Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry, 16(6), 853, 2005
8 고밀도 플라즈마 식각에 의한 CoTb과 CoZrNb 박막의 식각 특성
신별, 박익현, 정지원
Korean Chemical Engineering Research, 43(4), 531, 2005
9 자기 조립된 TaOx 마스크를 이용한 Si nanodot의 형성
박익현, 신별, 정지원
Applied Chemistry, 8(1), 211, 2004
10 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각을 이용한 NbOx nanodot 의 식각 메커니즘 연구
박익현, 이장우, 정지원
Applied Chemistry, 8(2), 538, 2004