검색결과 : 2건
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반응성 스퍼터링법에서의 RF전력, 기판온도 및 가스유량비가 WC x 막의 기계적 특성에 끼치는 효과 박연규, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 15(10), 621, 2005 |
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ALD법으로 증착한 ZnO 박막의 열처리 분위기에 따른 구조적, 전기적 특성 비교 박연규, 박안나, 이종무 Korean Journal of Materials Research, 15(8), 514, 2005 |