박진구 공저 논문
| No. | Article |
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포토마스크 펠리클 제조를 위한 Aluminum Frame 표면 세정공정 연구 김현태, 김향란, 김민수, 이준, 장성해, 최인찬, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 25(9), 462, 2015 |
| 2 |
이류체 노즐을 이용한 FPD 세정시스템 및 공정 개발 김민수, 김향란, 김현태, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 24(8), 429, 2014 |
| 3 |
듀얼 디퓨저 리소그래피를 이용한 3 차원 마이크로 구조의 제작 한동호, Hassan Hafeez, 류헌열, 조시형, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 23(8), 447, 2013 |
| 4 |
미세금형 가공을 위한 전기화학식각 공정의 유한요소 해석 및 실험결과 비교 류헌열, 임현승, 조시형, 황병준, 이성호, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 22(9), 482, 2012 |
| 5 |
Removal of Organic Wax and Particles on Final Polished Wafer by Ozonated DI Water Yi JH, Lee SH, Kim TG, Lee GH, Choi ES, Park JG Korean Journal of Materials Research, 18(6), 307, 2008 |
| 6 |
Cu ECMP 공정에서 전해액이 연마거동에 미치는 영향 권태영, 김인권, 김태곤, 조병권, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 18(6), 334, 2008 |
| 7 |
기상 자기조립박막 법을 이용한 나노임프린트용 점착방지막 형성 및 특성평가 차남구, 김규채, 박진구, 정준호, 이응숙, 윤능 Korean Journal of Materials Research, 17(1), 31, 2007 |
| 8 |
PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가 차남구, 박창화, 조민수, 김규채, 박진구, 정준호, 이응숙 Korean Journal of Materials Research, 16(4), 225, 2006 |
| 9 |
IPA 저온 접합법을 이용한 PMMA Micro CE Chip의 제작 차남구, 박창화, 임현우, 조민수, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 16(2), 99, 2006 |
| 10 |
연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 평가 차남구, 강영재, 김인권, 김규채, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 16(12), 731, 2006 |
| 11 |
마이크로 구조물 형성을 위한 핫 엠보싱용 플라스틱 스탬프 제작 차남구, 박창화, 임현웅, 박진구, 정준호, 이응숙 Korean Journal of Materials Research, 15(9), 589, 2005 |
| 12 |
핫 엠보싱용 점착방지막으로 사용되는 10nm급 두께의 Teflon-like 박막의 형성 및 특성평가 차남구, 김인권, 박창화, 임현우, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 15(3), 149, 2005 |
| 13 |
실험 계획법을 이용한 점착방지막용 플라즈마 증착 공정변수의 최적화 연구 차남구, 박창화, 조민수, 박진구, 정준호, 이응숙 Korean Journal of Materials Research, 15(11), 705, 2005 |
| 14 |
친수 유리용 TiO2 박막 개발 박진구, 김호건 Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry, 13(1), 104, 2002 |
| 15 |
계면 활성제 첨가한 암모니아수의 소수성 실리콘 웨이퍼와의 반응 세정 효과 박진우, 박진구, 김기섭, 송형수 Korean Journal of Materials Research, 9(9), 872, 1999 |