한국화학공학회 2002년 가을학술대회 : Arsenic 도즈 량에 따른 코발트 실리사이드 표면위의 이상 산화

조일현¹, 성낙균², 최경근³, 이종근, 이원규 (¹하이닉스 반도체, ²System IC (연), ³Logic 공정)