한국화학공학회 2001년 가을학술대회 : 식각용액으로 구성된 냉각패드를 활용한 새로운 개념의 반도체 공정용 화학적 기계적 연마공정에 관한 연구

오윤진, 박경순, 유재옥, 정태우, 김일욱, 정찬화 (성균관대)