한국화학공학회 2009년 봄학술대회 Delta Operator Approach to Modified Linear Quadratic Gaussian Control: Controller Design and Application to a Commercial 12-inch Rapid Thermal Processing 원왕연1, 이광순1, 이세찬1, 지상현2, 나병철3 (1서강대, 2KORNIC Systems Co., 3Ltd.) 목록보기 목록보기