한국화학공학회 2016년 봄학술대회 : Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model

육영근¹, 임연호¹, 유혜성¹, 조덕균¹, 유동훈², 장원석³, 최광성¹ (¹전북대, ²경원테크, ³NFRI)