| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2007년 가을 (11/02 ~ 11/03, 한경대학교) |
| 권호 |
11권 2호 |
| 발표분야 |
정보전자소재 |
| 제목 |
Study of thermal decomposition monitoring of precursors using a ultrasonic sensor for semiconductors |
| 초록 |
MOCVD(Metal-Organic CVD) 공정에 사용되는 precursor(Metal-Organic source)는 지속적인 가열에 의한 열분해가 발생하나 보관용기의 재질이 stainless이기 때문에 육안관찰이어렵다. 화학증착공정에 적용되는 precusor의 분해정도를 실시간으로 관찰할 수 있다면 precusor의 교체시기를 예측하여 증착공정에 발생할 수 있는 문제점들을 예방할 수 있다. 본 연구에서는 초음파를 이용한 진단장치(PMS 1000)를 사용, 분해시 관찰되는 초음파 peak의 intensity와 round trip time의 변화를 측정하였다. 열분해가 진행될수록 초음파 센서를 통하여 관찰된 peak의 intensity의 감소와 round trip time의 증가가 관찰되었다. 분해결과 및 분해도의 결과는 1H-NMR을 통해 확인하였다. |
| 저자 |
허수원1, 이지훈1, 윤주영2, 성대진2, 신용현2, 문두경1
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| 소속 |
1건국대, 2한국표준과학(연) |
| 키워드 |
MOCVD; precursor; thermal decomposition
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| E-Mail |
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