화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1995년 봄
권호 1권 1호, p.868
발표분야 재료
제목 화학 증착법에 의한 규소 박막 구조의 내부 조건과 grain 평균 크기의 이론적 전개
초록
저자 김수구, 이홍희
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