| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2007년 가을 (11/02 ~ 11/03, 한경대학교) |
| 권호 |
11권 2호 |
| 발표분야 |
정보전자소재 |
| 제목 |
플렉서블 디스플레이를 위한 플라스틱 기판의 표면처리에 따른 기판 표면과 투명전도막 특성 변화 |
| 초록 |
최근 플렉서블 디스플레이 산업이 대두되면서 플라스틱 기판에 양질의 투명전도막을 증착시키기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 하지만 플라스틱 기판자체의 특성과 전도성 투명전극의 형성에 대한 기초 연구가 아직 미약한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 다양한 조건에서 마이크로 웨이브 플라즈마로 표면처리한 플라스틱 기판의 특성을 알아보았다. 또한 플라즈마 처리된 기판 위에 DC 마그네트론 스퍼터를 사용하여 투명전도막을 형성시켜 표면형상과 표면거칠기, 결정화도, 저항과 같은 특성을 평가하여 플라즈마 처리된 기판 표면 특성과 투명전도막 특성과의 연관성을 조사하였다. |
| 저자 |
봉정선, 이장주, 백상현
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| 소속 |
경희대 |
| 키워드 |
플라스틱 기판; 마이크로 웨이브 플라즈마; 투명전도막; ITO
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