| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교) |
| 권호 | 8권 2호, p.4673 |
| 발표분야 | 에너지/환경 |
| 제목 | 기체의 전자 충격에 의한 이온화에 관한 연구 |
| 초록 | 본연구는 대기 상층부의 현상, 환경및 반도체 공정에 있어서 플라즈마 공정의 플라즈마 모델의 개발에 사용되는 전자 충격 이온화 단면적을 구하는 연구이다. 여기서는 먼저 여러 이온화 단면적을 정의하고 Thomson 이후 최근까지 개발된 원자나 분자의 이온화 단면적을 구하는 반 경험적인 이론식을 체계적으로 고찰 하였으며, 이 이론식중 BEB(Binary-encounter-Bethe)식을 사용하여 He과 좀더 복잡한 CO2분자의 이온화 단면적을 구하였다. 계산 결과는 기존의 데이터와 잘 일치 하였다. |
| 저자 | 김학금 |
| 소속 | 서남대 |
| 키워드 | Ionization Cross Section; Electron-Impact; Environmental Plasma |
| 원문파일 | 초록 보기 |
