| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 가을 (11/03 ~ 11/03, 수원대학교) |
| 권호 | 12권 2호 |
| 발표분야 | 반도체 재료 |
| 제목 | ZnO 나노막대 patterning에 관한 연구(Patterning of ZnO nanorod by solution chemical method) |
| 초록 | 청색발광소자로서 각광을 받고 있는 GaN와 같은 Ⅲ-Ⅴ 질화물 반도체는 제작이 어렵고 생산 단가가 높아 이를 대체할 수 있는 재료에 대한 연구가 진행 중이며 이를 대체할 수 있는 재료에 대한 연구로서 Ⅱ-Ⅵ 화합물인 ZnO에 관한 연구가 활발히 진행 중에 있다. ZnO는 상온에서 3.37 eV의 넓은 band-gap 에너지를 가지고 있고 넓은 exciton-binding 에너지를 가지고 있어 광감지기, LED, 가스센서 등 여러분야로 응용되고 있다. 최근 ZnO 나노 구조체를 다면적에 patterning하는 연구가 활발히 진행중에 있다. 본 연구는 간단한 photolithography를 통해 ZnO 나노막대를 다양한 pattern으로 patterning을 하였다. 또한 ZnO 나노막대 성장은 두단계의 간단한 solution chemical 방법을 사용하여 촉매제 없이 대기압에서 90~95℃의 낮은 온도로 ZnO 나노막대를 기판위에 성장시켰다. 본 성장방법을 통하여 PET, glass, Si wafer등 여러 기판에 ZnO 나노 구조체를 선택적으로 성장할 수 있을 것이다. ZnO 나노막대의 pattern은 FE-SEM, TEM을 통하여 비교 분석하였다. |
| 저자 | 이성학, 최승규, 장재민, 김정아, 정우광 |
| 소속 | 국민대 |
| 키워드 | ZnO; nanorod; patterning |
