| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2012년 봄 (05/17 ~ 05/18, 무주덕유산리조트) |
| 권호 | 18권 1호 |
| 발표분야 | C. 에너지/환경 재료(Energy and Environmental Materials) |
| 제목 | 플라즈마이온주입법과 퍼니스확산을 통해 형성한 에미터의 특성 평가 |
| 초록 | 과도핑된 에미터는 Auger 재결합을 일으켜, 단파장대의 효율 저하의 원인이 된다. 반면,저도핑된 에미터의 경우 전극과의 접촉저항을 높이기 때문에 에미터의 불순물 농도와 접합 깊이 제어가 매우 중요하다. 본 실험에서는 불순물 제어가 어려운 기존의 퍼니스 확산공정에 의해 형성된 에미터와 플라즈마 소스를 이용하는 플라즈마 이온주입법을 통해 형성된 에미터의 특성을 비교하였다. 이차이온질량분석법을 통해 불순물의 분포를 관찰하였으며, 표면저항측정기를 통하여 플라즈마 이온 주입 후 열처리에 따른 저항 변화를 측정하였다. 소수반송자수명을 측정하였으며, 개방전압을 추정하였다. 다이오드분석을 통하여 플라즈마 이온 주입법으로 형성된 에미터의 적용 가능성을 확인하였다. |
| 저자 | 박효민, 이종한, 이두원, 탁성주, 김동환 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | 에미터; 플라즈마 이온 주입법 |
