| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 봄 (04/26 ~ 04/27, 강원대학교) |
| 권호 | 8권 1호, p.2265 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 기판온도 및 기판표면에 따른 다이아몬드박막의 특성분석 |
| 초록 | 본연구는 반도체의 급속한 발달로 인한 기존의 Si대체물질로써 고속, 고출력등의 소자 제조에 관련된 개발을 위해 연구되어지며, 또한 SPM ,분석장치의 소자제조에도 응용가능한 재료로써 다이아몬드를 이용한 특성분석을 하였다. |
| 저자 | 서형기, 안사리 SG, 김길성, 김연수, 신형식 |
| 소속 | 전북대 |
| 키워드 | XPS; AFM; Diamond |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
