| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (10/30 ~ 11/01, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 17권 2호 |
| 발표분야 | 포스터-에너지저장.변환 |
| 제목 | CZTS 태양전지 Mo 후면 전극의 기판 및 온도에 따른 특성 연구 |
| 초록 | 최근 많은 연구가 이루어지고 있는 CdTe, CIGS계, CZTS계 태양전지의 후면 전극은 낮은 전기저항도, 흡수층과의 저항성 접촉이 가능한 일 함수 등의 특성으로 소다라임 유리기판 위에 몰리브덴(Mo)이 이용되고 있다. 본 연구에서는 고온(＞570℃) 공정이 가능한 석영 기판에 상온에서 DC magnetron sputter를 사용하여 다양한 증착 조건에서 증착된 Mo 박막을 고온 열처리하여 평가했다. DC power와 gas pressure의 증착 조건에서 스퍼터링 된 Mo 박막의 전기적/구조적 특성은 전기 저항도, 증착 속도, FESEM, AFM 및 XRD 등으로 분석하였다. 또한 600℃, 800℃에서 30분간 열처리 후 Mo 박막의 특성을 조사하였다. 낮은 압력, 높은 파워의 증착 조건에서 전기 저항도가 감소하였고, 치밀한 결정립 특성을 나타냈다. 전기 저항도는 열처리 온도에 따라서 600℃ 까지는 증가하고, 그 이상에서는 감소했다. |
| 저자 | 심준형1, 전보람1, 양기정2, 강진규2 |
| 소속 | 1대구경북과학기술원 차세대융복합연구센터, 2대구경북과학기술원 차세대융복합연구센터 / 대구경북과학기술원 에너지연구부 |
| 키워드 | Mo; Quartz; electrode; CZTS; CIGS; solar cell |
