학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2004년 가을 (11/05 ~ 11/05, 인하대학교) |
권호 | 10권 2호 |
발표분야 | 반도체I(실리콘) |
제목 | Pentacene을 채널로 사용한 유기 TFT의 전기적∙열적 스트레스에 따른 특성 분석 |
초록 | 전도성 유기 반도체는 1970년대 전기 전도성 고분자 및 단분자 재료에 대한 연구 산업이 시작된 이래 30년 동안 급속히 발전함에 따라 이를 이용한 유기 전자소자에 대한 연구도 국내외적으로 활발히 진행되어 왔다. 최근에는 그 기술이 급속히 발전해 유기 채널을 이용한 박막 트랜지스터와 유기 박막다이오드 등이 연구 되어지고 있다. Organic material 중에서 p-channel을 형성하는 pentacene이 0.3 cm2/ Vs로 높은 mobility 특성으로 인하여 pentacene OTFT의 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 유기 TFT에 사용된 pentacene 경우 물질 자체의 열적이 특성이 매우 열악한 것으로 보고되어지고 있다. 또한 OTFT소자구동 시 열적, 전기적 스트레스에 따른 특성 분석이 요구 되어진다. 본 연구에서는 OTFT 소자의 장시간 구동 시 나타나는 소자 특성 저하 원인을 전기적 스트레스와 열 특성 관찰을 통하여 분석하려고 한다. 사용되어진 OTFT소자는 WSi 150 nm를 가지는 bottom gate와 Insulator 물질로 LTO를 사용하고 Ti/Au를 사용하여 source, drain을 형성하였고 사용된 채널 층으로는 pentacene 100 nm로 한, Top contact OTFT를 사용하였다. 전기적 스트레스는 장시간에 걸친 게이트 전압인가에 따른 Drain current-Gate voltage 특성으로부터 문턱전압 변화 관찰과, 외부에서 주어진 열적 스트레스를 통해 채널의 이동도 변화에 따른 Transfer conductance와 소자 온도에 따른 문턱전압의 분석을 통하여 소자 특성 저하원인을 규명할 것이다. 이와 더불어 소자 구동 시 유기 채널 층에서 발생되어진 온도를 Electrical Test Method의 기초 원리를 사용한 Thermal transient tester를 사용하여 유기 채널의 온도와 소자의 열 저항 특성을 분석하고자 한다. |
저자 | 신무환, 장선호 |
소속 | 명지대 |
키워드 | pentacene; stress; OTFT |