| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2011년 가을 (10/26 ~ 10/28, 송도컨벤시아) |
| 권호 | 17권 2호, p.1905 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 비정질 실리콘 나노입자를 이용한 박막 구조 |
| 초록 | 비정질의 실리콘 나노입자를 이용하여 실리콘 박막을 제조하였으며, 다양한 공정조건에 따른 박막의 특성을 연구하였다. 기존의 실리콘 박막 제조 기술은 고가의 진공 장비가 이용되므로 상대적으로 비진공 공정을 이용하면 박막 태양전지의 공정비용을 절감시킬 수 있다. 박막 제조에 사용된 실리콘 나노입자는 저온 플라즈마를 사용하여 합성하였으며, 단결정 실리콘 웨이퍼 위에 Dr. blade 공정을 이용하여 박막을 형성하였다. 비정질 구조의 실리콘 나노입자를 α-Terpineol과 2-(2-Botoxyethoxy)ethylacetate를 혼합한 용매에 이 비정질 실리콘 나노입자를 분산시켜 실리콘 웨이퍼 기판에 프린팅 하였다. 기판에 증착된 나노입자들은 각각 400~600℃의 온도와 N2 가스 분위기에서 열처리되어 고밀도화 되었다. 이렇게 제조된 비정질 실리콘 박막의 물성 분석은 SEM, EDX, XRD를 통하여 수행되었다. |
| 저자 | 김자영1, 신채호2, 장보윤1, 고창현1 |
| 소속 | 1한국에너지기술(연), 2충북대 |
| 키워드 | silicon; nanoparticle; thin film |
| 원문파일 | 초록 보기 |
