| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2007년 봄 (05/11 ~ 05/12, 계명대학교) |
| 권호 |
11권 1호 |
| 발표분야 |
무기재료 |
| 제목 |
플라즈마 기상 화학 증착 공정에 의한 유리구에 TiO2 박막 코팅 |
| 초록 |
최근에 유전체 방전-광촉매 결합 공정을 이용하여 대기 오염물인 NOx나 SOx를 제거하는 연구가 수행되고 있다. 유전체 방전-광촉매 결합 공정용 광촉매로서 TiO2는 각종 오염물질을 무해한 물질로 변화시켜 주는 친환경적 소재로서 광촉매 중 가장 많이 사용되고 있다. 본 연구에서는 플라즈마 기상 화학 증착 공정을 이용하여 유리구위에 TiO2 박막을 코팅하였으며 공정 변수에 따른 박막 특성을 분석하였다. 유리구에 균일한 박막 코팅을 위하여 회전하는 실린더형 반응기를 사용하였다. TiO2 박막용 전구체 농도가 증가함에 따라 유리구 표면에 TiO2 박막이 더 빠르게 성장하였다. 반응기의 회전 속도가 빨라질수록 유리구 표면에 성장한 TiO2 박막의 두께는 증가하였다. 본 연구로부터 실린더형 플라즈마 반응기는 입자위에 균일하고 품질이 좋은 박막을 코팅하는데 사용될 수 있을 것으로 판단된다. |
| 저자 |
김교선, 강진이, 김동주, 이상석, 천재욱, 박세리
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| 소속 |
강원대 |
| 키워드 |
입자 코팅; 플라즈마 기상 화학 증착 공정; TiO2 박막 코팅
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