| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2006년 가을 (11/10 ~ 11/11, 경희대학교(수원캠퍼스)) |
| 권호 | 10권 2호 |
| 발표분야 | 고분자 |
| 제목 | TFT-LCD Array에 적용 가능한 투명 내열 박막 코팅소재 합성 및 특성 |
| 초록 | Thin film transistor (TFT)는 gate전극, data전극(source 전극, drain 전극), gate insulator, active layer, ohmic layer, a-si, PVX(passivation)으로 이루어진 Swiching 소자이다. 박막 특성으로는 고투과도, 내열성, 저유전율등이 요구된다. 예전에는 benzocyclobutane (BCB)가 사용되어왔으나 열공정으로 생산성이 낮고 해상도가 낮으며, Dry Etch 등 제약이 많이 있어 공정 적용에 한계를 가진다. 그러므로 다관능성 Imide Monomer, Binder Polymer, Photoinitiator 및 첨가제를 포함한 negative형 유기 절연막 재료를 합성 하였다. 저유전율 재료화를 위하여 불소 함유 UV경화형 Imide Monomer를 포함한 유기 절연막 감광액을 합성 하였다. |
| 저자 | 이효정, 박이순, 김효진, 박은정, 김현석, 김순학, 허영준 |
| 소속 | 경북대 |
| 키워드 | TFT-LCD; Polyimide; negative 광중합형 |
