| 초록 |
Micro-contact printing(μCP)은 비용절감, 생산시간 단축의 장점으로 photolithography공정을 대체할 수 있는 잠재적인 새로운 공정방법이다. μCP을 이용한 미세패턴 공정 시에는 미리 형성된 패턴의 음각을 표면에 전사한 stamp (PDMS - poly(dimethlysiloxane))와 시편이 접촉할 때 가해지는 힘, 위치 및 접촉 시간이 가장 중요한 공정 변수이다. 현재는 대부분 공정이 손으로 이루어지기 때문에 위에서 언급한 공정 변수를 정확히 조절할 수 없으며, 또한 대량생산화가 불가능하다. 본 논문에서는 Micro-contact printing equipment(μCPE)를 고안하고 제작하여 μCP 공정을 수행함으로써 stamp와 시편이 접촉할 때 전 면적에 동일한 힘을 가해주고, 접촉 후 stamp와 시편에 작용하는 capillary혹은 van der Waals힘에 의한 미세한 흔들림도 방지할 수 있었으며, 접촉시간 또한 정확하게 제어 할 수 있었다. 미세 패턴 형성의 예로 3 mm 선폭의 일정한 Ag 금속선 패턴을 제조하였다. 1cm×1cm 크기의 stamp에서는 stamp 패턴크기와 거의 같은 Ag 금속선 패턴을 전면에 일정한 선폭으로 형성하였으며, 3cm×3cm의 stamp에서는 시편과 접촉순간 일정부분에 공기가 남아있는 곳을 제외하고 전면에 일정한 패턴을 형성할 수 있었다. |
