화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2005년 봄 (04/14 ~ 04/15, 전경련회관)
권호 30권 1호, p.389
발표분야 복합재료
제목 PDP용 감광성 전극(Address) Green Sheet의 제조 및 공정 특성
초록 AC-PDP(Plasma Display Panel)의 금속 전극은 배면 유리 기판의 Address 전극과 전면 유리 기판의 투명전극 위에 놓인 Bus 전극이 있다. Address 전극의 경우 주로 감광성 Ag paste를 이용하여 인쇄법에 의해 형성되고 있다. 인쇄법에 의한 전극 형성은 pitch의 정밀도와 전극 폭의 제어가 어려운 단점이 있어 분할 구동방식에서와 같이 미세 선폭이 요구되는 PDP에 있어서는 사진식각법(photolithography)에 의한 address 전극의 형성이 필요하나 이 방법 또한 공정이 복잡하고 형성된 전극 pattern이 소성 후 edge curl이 발생하는 문제가 있다. 본 연구에서는 감광성 Ag paste를 Green Sheet화 한 후 이를 이용한 사진식각법 공정에 대하여 연구하였다. 이를 위하여 Green Sheet화에 적합한 Binder 고분자, 용매 및 첨가제로 구성된 Vehicle 및 Ag 분말 재료의 최적 조성 및 Green Sheet로 형성된 전극 패턴을 소성한 후 형성되는 Address 전극의 특성에 대하여 조사하였다.
저자 윤해상, 박이순, 장동규, 김상우, 허영준
소속 경북대
키워드 Green Sheet; photolithography; Address 전극
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