| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (04/09 ~ 04/10, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 34권 1호 |
| 발표분야 | 고분자 구조 및 물성 |
| 제목 | Roll to Roll 연속 증착 장비를 이용한PET - ITO 유연기판의 박막공정 및 특성 |
| 초록 | 플렉시블 디스플레이의 연구 개발이 국내외적으로 활발하게 진행되고 있다. 이러한 플렉시블 디스플레이의 어려움중 하나는 유연기판의 역할을 하는 박막 투명 전극층이 형성된 고품위 ITO필름의 제조 기술이다. 본 연구에서는 Roll to Roll Sputter장치에 Pulsed Double Magnetron Source를 적용하여 Film폭 150mm에 균일한 ITO성막(Uniformity ±3%이하)을 위한 진공도, Ar gas압력, 전압 등 공정조건을 조사하였고 Plasma Ion Source를 이용한 전처리를 통해서 기판 거칠기 개선, 표면 개질을 통한 막 접착력 향상과 전기적 특성 향상을 위한 연구를 수행 하였다. 그리고 Buffer layer를 형성하여 막 접착력 및 전기적 특성의 향상을 위한 연구도 진행 하였다. 이상의 결과를 ITO 박막의 전기적, 구조적 및 광학적 특성과 관련하여 비교 분석 하였다. |
| 저자 | 이상주, 박이순 |
| 소속 | 경북대 |
| 키워드 | Flexible Substrate; Roll to Roll Process; Sputter; ITO |
