| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2009년 봄 (04/09 ~ 04/10, 대전컨벤션센터) |
| 권호 |
34권 1호 |
| 발표분야 |
분자 자기조립에 의한 나노기술 |
| 제목 |
Tailored One-Dimensional Block Copolymer Assembly Directed by Chemically Patterned Surfaces |
| 초록 |
수 ~ 100nm의 직경을 가지는 나노 크기의 물질는 표면적과 표면에너지의 증가로 독특한 성질을 나타내므로 나노소자에서의 핵심 building block으로써 많은 관심을 받아왔다. 따라서 나노구조를 일차원적으로 일차원적으로 배열된 형태로 조직화하는 것 다양한 응용에 있어서 매우 중요하다. 자기조립된 블록공중합체의 나노구조 배향과 대면적에서의 정렬을 조절하기 위해서 top-down방식과 bottom-up방식을 결합시킨 다양한 융합기술들이 개발되었다. 본 연구는 이러한 융합기술을 통하여 블록공중합체 박막내에 새로운 나노구조를 유도하는 방법에 관한 것이다. 미세하면서 정교한 패턴제작이 가능한 전자빔 리소그래피 툴을 이용하여 화학적으로 패턴화된 기판을 만들고 그 위에 블록공중합체의 박막을 형성시켜 자기조립현상을 유도하였다. 특히, bottom-up방식의 패턴 주기와 top-down방식의 패턴 주기가 일치하지 않을 때 일차원적으로 정렬된 라멜라형 블록공중합체의 나노구조가 구현되었다. 이는 화학적 표면 패턴을 이용하여 블록공중합체 박막내에서의 새로운 나노구조를 제어할 수 있음을 보여주고 있다. |
| 저자 |
신동옥, 김봉훈, 강주형, 정성준, 박승학, 이용희, 김상욱
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| 소속 |
KAIST |
| 키워드 |
block copolymer; nanopattern; one-dimension; nanolithography
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