| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2007년 봄 (04/19 ~ 04/20, 울산 롯데호텔) |
| 권호 |
13권 1호, p.964 |
| 발표분야 |
재료 |
| 제목 |
실린더형 플라즈마 반응기를 이용한 TiO2 박막 코팅 |
| 초록 |
TiO2는 내산성, 내알칼리성 등이 좋으며 인체에 무해하고 각종 오염물질을 무해한 물질로 변화시켜 주는 친환경적 소재로서 광촉매 중 가장 많이 사용되고 있다. 본 연구에서는 플라즈마 반응기를 사용하여 SiO2 입자위에 TiO2 광촉매의 박막 코팅을 분석하였다. SiO2 입자에 균일한 박막 코팅을 위하여 회전하는 실린더형 반응기를 사용하였다. SiO2 입자는 실린더형 반응기 내에 존재하며 반응기가 회전하는 동안 bulk 플라즈마의 기상에서 균일한 박막 코팅이 이루어진다. 반응기의 회전 속도가 빨라질수록 기상에 존재하는 입자의 수가 증가하고 증착 가능한 표면적이 증가하므로 박막은 더 빠르게 성장하였다. 본 연구를 통하여 회전하는 실린더형 플라즈마 반응기를 사용함으로서 입자위에 균일하고 품질이 좋은 박막 코팅할 수 있을 것이라 판단된다. |
| 저자 |
강진이, 김동주, 김교선, 김광희
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| 소속 |
강원대 |
| 키워드 |
TiO2 박막 코팅; PCVD; 입자코팅; 플라즈마 반응기
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
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