| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 가을 (11/03 ~ 11/03, 수원대학교) |
| 권호 | 12권 2호 |
| 발표분야 | 전자 재료 |
| 제목 | Ultrasonic spray pyrolysis 법에 의한 Tl-1223 고온 초전도 film의 제조 |
| 초록 | 기존의 고온 초전도 film은 PLD법이나 sputtering법과 같은 물리적 증착법으로 제조되어 그 가격이 비싼 단점이 있다. 본 연구에서는 보다 염가로 고온 초전도 film을 제조하기 위해 값싼 화학용액증착법의 하나인 spray pyrolysis 법을 이용하여 Tl-1223 초전도 film의 제조를 시도하였다. Ba, Ca, Cu를 포함하는 질산염의 수용액을 만들어 800℃로 가열된 1cm×1cm크기의 LAO substrate에 ultrasonic nebulizer로 분무하여 1mg 가량의 Ba-Ca-Cu-O precursor film을 증착 한 후 Tl 증기 분위기에서 열처리 하였다. precursor film의 ICP 측정결과 Ba:Ca:Cu의 비가 2:2:3인 precursor film을 제조하였으며 현재 Tl source로서의 Tl-1223 pellet과 함께 열처리 할 때의 온도, 열처리 시간, pellet의 량에 따른 변화를 연구하고 있다. 아울러 본 연구에서는 precursor film 증착 조건에 따른 film 균일성 및 조성변화와 상술한 변수에 따른 film에서의 존재상 변화를 발표하고자 한다. |
| 저자 | 현상철1, 배차헌1, 정대영2 |
| 소속 | 1부경대, 2한국전기(연) |
| 키워드 | 초전도; spray; Tl-1223; CVD |
