| 초록 |
최근에 백색 발광체를 개발하고자 무기물 모체에 다양한 활성제 이온을 주입하는 연구가 상당한 관심을 끌고 있다. 본 연구에서는 발광 효율이 높은 백색 형광체 박막을 제조하고자 두 종류의 활성제 이온 Eu3+와 Dy3+가 공동 도핑된 CaMoO4를 sapphire 기판을 사용하여 300℃에서 RF-magnetron sputtering 증착 후 열처리를 수행하여 제조하였다. 이와 더불어, 증착 온도를 100℃, 200℃, 300℃, 400℃로 달리한 후 550℃에서 열처리를 실시하여 제조하였다. 열처리 온도(550℃, 650℃, 750℃, 850℃)에 따른 백색 형광체 박막과 증착 온도에 따른 박막의 흡광과 발광 신호, 결정 구조, 결정 입자의 크기와 표면 형상을 조사하였다. 열처리에 따른 백색 발광 박막의 경우, 파장 274 nm로 여기 시킨 CaMoO4:Dy3+,Eu3+ 박막은 발광 세기가 가장 강한 613 nm의 주 피크를 방출하는 적색 스펙트럼과 발광 세기가 상대적으로 약한 572 nm에 피크를 갖는 황색 스펙트럼을 나타내었다. 열처리 온도가 증가함에 따라 613 nm의 적색 발광 스펙트럼의 세기는 증가하는 추세를 나타내었다. 서로 다른 증착 온도에 성장한 박막의 경우에 파장 268 nm로 여기 시켰을 때, 613 nm의 적색 발광 피크를 확인 할 수 있었다.
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