| 초록 |
유-무기 하이브리드 고분자는 유기박막트랜지스터에 필요한 게이트 유전체로서 사용될 수 있는 유력한 후보 중 하나이다. 그 이유는 유-무기 하이브리드 고분자는 저온 공정이 가능하고, 높은 유전상수를 가지고 있으며 직접 패터닝이 가능하다는 등의 다양한 장점을 가지고 있는 데 있다. 하이브리드 유전체는 유기 작용기가 결합된 Si 알콕사이드와 Zr 알콕사이드가 전구체로서 사용되어 졸-겔 반응에 의해 합성되었다. 이렇게 만들어진 용액은 스핀코팅에 의해서 박막으로 입혀졌고 UV노출을 하여 박막이 교차결합 하도록 하였다. 이후 170℃에서 열처리하였다. 유전체의 조성을 알아보기 위하여 FT-IR을 측정하였고 소자의 물성에 많은 영향을 미치는 표면 조성을 살펴보기 위하여 AFM으로 관찰하였다. 유전체로서의 성능을 알아보기 위하여 누설전류와 전압에 따른 캐패시턴스를 측정하였다. 또한 p형 Si 웨이퍼를 게이트전극으로서, 크롬 / 금을 컨택전극으로, TIPS를 유기반도체로 사용하여 유기박막소자를 만들었고 소자로서의 전기적 특성을 살펴보았다. |
