| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1997년 가을 (10/24 ~ 10/25, 충남대학교) |
| 권호 | 3권 2호, p.3261 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | CVD법에 의한 Li/Nb산화물 박막 제조 |
| 초록 | CVD는 박막성장기술로서, 특히 넣ㅂ은 범위에 균일하게 증착시킬 수 있다는 것과 높은 증착율로 인하여 상업적인 응용이 연구되고 있다. Lithium niobate는 비선형 광학특성등을 지니고 있어 응용에 유망한 재료로 많은 연구를 하고 있다. 본 연구는 기존의 원료물질보다 좀더 값싸고 다루기 쉬운 고체상의 물질을 이용하여 박막을 제작하고자 하며, 또한 반응의 최적 온도와 운반가스의 최적 유량을 결정하고자 한다. 그리고 분석은 XRD와 SEM 등을 이용한다. |
| 저자 | 신영식, 문희, 박흥철 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | CVD; Lithium Niobate; Thin Film |
