화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2008년 가을 (10/23 ~ 10/24, 부산 BEXCO)
권호 14권 2호, p.3374
발표분야 재료
제목 Flexible기판(PEN)상의 PVA-SiO2/parylene의 multi층 형성 공정 최적화 및 film의 보호 특성 평가
초록 Flexible display는 현재의 FPD(Flat Panel Display)의 뒤를 이어 나타날 차세대 display로서 많은 연구가 진행되고 있다. Flexible display에서 가장 중요한 것은 기판인데, 현재 thin glass, metal foil, plastic의 세 종류의 기판이 가장 활발히 연구 되고 있다. 또한 display의 특성상 물과 산소에 의한 degradation을 방지할 수 있는 barrier coating에 관련한 연구도 많이 진행되고 있다.
본 실험에서는 flexible기판(PEN)상의 multi-layer(PVA-SiO2/parylene-c)를 형성하여 기판 보호층으로서의 특성을 살펴보았다. PVA-SiO2층은 spin-coater를 이용하여 층을 형성하였고, parylene-c층은 parylene CVC (chemical vapor condensation) system을 사용하여 증착하였다. 기존 연구를 통해PVA-SiO2층은 투산소방지특성을 가지고 있고, paryrlene은 투습방지특성을 가지고 있는 것을 알고 있다. 이 두층의 형성을 통해 투산소와 투습방지막을 함께 형성시킴으로서 필름 보호층으로서의 multi-layer의 광투과도, 표면roughness, 보호특성 등의 분석을 통하여 flexible display에의 적용가능성을 살펴 보았다.
감사의 글: 본 연구는 지식경제부 지방기술혁신사업 (RTI-0401-04) 과 BK21 사업의 지원으로 수행되었음.
저자 구대욱1, 움메 파르바1, 유상현2, 박진호1
소속 1영남대, 2웅진케미칼
키워드 flexible기판; PVA-SiO2; parylene; 보호층
E-Mail
원문파일 초록 보기