| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 | 6권 2호, p.4525 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 반도체 제조 공정 중의 미립자 성장 모델 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 실란 PCVD 반응기 내에서 입자 충돌에 의한 입자 성장을 모델식을 사용하여 이론적으로 고찰하였으며 공정변수를 변화시켜 가며 공정 변수가 입자 성장에 미치는 영향을 분석하였다. 먼저 수백 nm 크기의 거대입자들이 초기입자들과의 충돌에 의해 성장하고 입도 분포가 단분산인 실험 결과들[5, 6]을 근거로 하여 플라즈마 영역에서 입자 전하 분포가 Gaussian으로 표현될 때 플라즈마 반응기 내에서 입자 충돌에 의한 입자 성장을 단분산 모델식을 사용하여 고찰하였다. 또한, 미립자 성장을 분석하기 위해 입자 크기 영역을 imax 개의 이산영역과 ksec 개의 구간영역으로 나누어 입자 성장을 해석하는 discrete-sectional 모델을 사용하였다. |
| 저자 | 김동주, 김교선 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
