| 초록 |
본 연구에서는 압전소자(nanogenerator)로서 가장 우수한 특성을 가진 재료인 Zinc Oxide (ZnO) 는 sputter의 각을 조절하여 그 형태가 대칭과 비대칭적으로 구의 형태를 가질 때의 모델로 제작되고 결정성과 전기적인 특성 등을 분석하였다. 기판은 SiO2를 이용하였으며, Polystyrene (PS)는 기판 위에서 sputtering시에 ZnO가 구의 형태를 가지는 film 형성에 도움을 주는 역할을 한다. 이때, sputter안의 target gun에서 발생하는 plasma와 증착 대상인 샘플과의 각도를 이용하여 oblique-angle sputtering을 수행하게 되며, 이것은 구의 형태를 가지는 ZnO film의 비대칭성의 정도를 결정하게 된다. 구 형태의 ZnO film은 비대칭적일 때보다 대칭적으로 구의 형태를 가질 때 결정성이 더 우수하며, 압력이 작용되었을 때 출력 전류는 비대칭성이 커질수록 증가하는 것을 확인 할 수 있었다. 본 연구는 ZnO를 이용한 다양한 형태의 압전소자 연구의 새로운 방향을 제시해 줄 수 있으며, 응용분야의 확대를 야기 시킬 것이다. |
