| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (04/15 ~ 04/17, 호텔인터불고(대구)) |
| 권호 | 13권 1호 |
| 발표분야 | 환경에너지 |
| 제목 | 반도체 화학증착용 원료물질의 recycling 평가 연구 |
| 초록 | 반도체 라인에서 화학증착용 원료물질의 사용이 증대되고 있다. 특히 화학증착, 유기금속화학증착, 원자층 증착 등을 이용한 박막공정이 증대되면서 이들 원료물질의 recycling 이슈가 대두되고 있다. 원료물질 대부분은 부식성이 강하고 환경에 치명적 물질들이 많기때문에 이들을 recycling 하여 재사용하는 방법이 사용되고 있으나 원료물질의 recycling 가능여부를 평가해주는 방법이 거의 전무한 형편이다. 따라서 사용된 폐원료물질의 증기압 및 열안정성등을 평가할 수 있는 기술을 개발하여 원료물질의 recycling 여부를 확인할 수 있었다. |
| 저자 | 윤주영, 노승완, 강상우, 김진태, 신용현 |
| 소속 | 한국표준과학(연) |
| 키워드 | precursor; semiconductor; recycling; CVD; ALD |
