| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2005년 봄 (04/22 ~ 04/23, 여수대학교) |
| 권호 | 11권 1호, p.1037 |
| 발표분야 | 촉매 및 반응공학 |
| 제목 | LCD/CVD 공정중에 발생하는 분진이 PFC 분해 촉매에 미치는 영향 |
| 초록 | 반도체 CVD 공정에서는 난분해성 PFC (CF4, C2F6, SF6, NF) 뿐만 아니라 분진이 발생한다. 본 연구에서는 이전에 700℃ 이하에서 99% 이상 분해 처리할 수 있는 촉매를 개발하였으며, 촉매에 의한 여러 PFC 별 분해 특성 data의 확보와 분진에 의한 촉매의 영향을 연구하였다. |
| 저자 | 권우정, 박용기, 최원춘, 김희영 |
| 소속 | 한국화학(연) |
| 키워드 | PFC; 분진 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
