| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (05/12 ~ 05/13, 전북대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | 고분자 |
| 제목 | 암모니아 제거를 위한 고기능 필터 복합소재의 제조 및 암모니아 흡착특성 |
| 초록 | 현재 64 MDRAM 이상의 고성능 반도체 메모리를 생산하기 위해 HEPA, ULPA 및 다양한 Chemical Filter등의 clean room 시설이 사용되고 있다. 이들 중 현재 Chemical Filter에는 첨착 활성탄이나 입상형 이온교환수지를 사용하고 있으나 활성탄이나 입상형 이온교환수지는 압력손실이 크고 분진에 의한 2차오염과 사용시 기재로부터 분리되기도 하는 등 문제가 있어 점차 섬유상 이온교환수지로 대체되고 있는 실정이다.따라서 본 연구에서는 암모니아에 선택적 흡착특성이 있는 입상형 이온교환수지를 사용하여 기존 필터 소재의 단점을 개선한 고성능 필터 소재를 제조하였으며 부착강도, 차압측정, 가스흡착 특성 시험을 통한 최적 제조 조건을 규명하였다. |
| 저자 | 정부영, 조인희, 황택성 |
| 소속 | 충남대 |
| 키워드 | 복합화학필터; 암모니아; 클린룸; 이온교환 |
