| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 봄 (05/26 ~ 05/27, 무주리조트) |
| 권호 | 11권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | Thermal evaporation법으로 제조된 WO3 박막과 Pd-WO3박막의 전기적 특성에 관한 연구 |
| 초록 | WO3계 n-형 반도체의 박막 가스센서의 수소 기체에 대한 감지특성 및 촉매로 Pd를 첨가함에 따라 미세조직의 변화가 WO3 감지특성에 미치는 영향을 조사하고자 하였다. 박막의 증착은 열증발법을 사용하여 두께는 160nm-340nm로 하였으며, 촉매는 스퍼터링법으로 두께 1.6nm -10.7nm로 도핑하였다. 촉매를 사용하지 않았을 때와 촉매를 사용하였을 때의 열처리 온도에 따른 박막의 결정구조, 조성변화, 표면특성 및 수소가스에 대한 감지특성을 비교하기 위하여 XRD, FE-SEM, AFM, AES 등을 통하여 분석하였다. 결과 수소기체에 대한 감지특성은 박막 두께가 증가함에 따라 우수하였으며 Pd가 첨가함에 따라 감지특성은 향상하였다. 이는 금속표면이 공기분자에 대한 표면흡착 능력이 우수하고 특히 Pd는 표면에서 H2를 H+이온으로 전환시키므로 WO3이 기체에 대한 반응을 향상시킨데 있다고 보여진다. 작동온도는 200℃~300℃으로 250℃에서 반응이 제일 뛰여 났다. |
| 저자 | 김광호, 박진성 |
| 소속 | 조선대 |
| 키워드 | Metal oxide gas sensors; Tungsten oxide; Pd; hydrogen |
