화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2019년 봄 (05/01 ~ 05/03, 부산 벡스코(BEXCO))
권호 23권 1호
발표분야 에너지저장·변환_포스터
제목 MO 증착 온도와 표면 산화에 따른 MOSE2 형성
초록 본 연구에서는 후면 전극 Mo와 광흡수층 Cu(In,Ga)Se2 사이에 생기는 MoSe2에 주목하였다. CuInGa/Mo/glass의 셀렌화 중 Mo는 Se와 반응하여 저항이 높은 MoSe2층이 형성된다. 과도한 MoSe2층은 높은 저항과 부피 팽창으로 광흡수층과 Mo 사이의 접촉 성질을 악화시켜, 직렬 저항의 증가와 개방전압의 감소로 인해 태양전지 효율을 저하시킨다. 따라서 태양전지의 전기적 특성을 향상시키기 위해 MoSe2층의 두께를 제어할 필요가 있다. Mo 후면전극의 밀도를 높이기 위해 Mo 증착온도를 높여 다양한 조건을 적용시켰다. 스퍼터 장비를 사용하여 Mo 증착온도를 상온, 100℃, 150℃로 변화시켜 실험을 진행하였고 추가적으로 밀도가 높고 결정 형태가 일정한 최적의 온도에서 증착한 Mo를 다양한 공정 조건을 적용하여 산화시켜 MoSe2의 두께를 줄일 수 있음을 함께 확인할 예정이다.
저자 신혜진, 전찬욱
소속 영남대
키워드 태양전지; Mo; MoSe2; 표면산화; CIGS; 스퍼터링
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